二次电子分辨率:

1.0nm (15 kV, WD ≥4mm);

1.4nm (1 kV, WD ≥ 1.5mm)

放大倍率:

低倍模式×20~ ×2,000

高倍模式×100~ ×800,000

功能及应用范围:

　　X射线衍射仪可对样品进行结构参数分析，如物相定性与定量分析，衍射谱的指标化及点阵参数测定，晶粒尺寸及点阵畸变测定，粉末衍射图谱拟合修正晶体结构，结构分析，结晶度测定，此外还可进行高低温下的结构变化的动态分析等。

主要附件:

　　超级E×B探测器；磁悬浮型涡轮分子泵；镜筒真正内外烘烤功能；电子束减速；光栏自清功能；超大电位移距离；同时采集BF-STEM+DF-STEM